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万业企业:离子注入机放量在即,打造半导体设备平台化企业︱稳链强链典范

来源:互联网

第一财经围绕企业的成长轨迹、创新模式、发展路径,从众多上市公司在过去一年的进化实践中寻找“最佳实践案例”。它们或重构自己的核心技术,或升级自己的核心产品,或变革自己的核心用户群,从而创造出为更广阔的成长空间。万业企业荣获2022年度“最佳实践案例·稳链强链典范”。


横向扩张设备品类,纵向布局上游零部件,万业企业(600641.SH)近年持续发力半导体强链稳链。

万业企业控股子公司凯世通是国内离子注入机龙头,目前产品包括自产离子注入机、离子注入平台、离子注入机耗材备件等,可重点应用于半导体集成电路、光伏太阳能电池和AMOLED显示屏等领域。2022年起其低能大束流离子注入机已进入批量产业化阶段。

万业企业另一重要的控股子公司嘉芯半导体产品范围覆盖快速热处理、薄膜沉积、刻蚀机等前道半导体设备。此外,万业企业纵向布局上游半导体设备零部件领域设备流量控制龙头CompartSystems,进一步完善了集成电路设备产业工艺链,优化上下游产业协同效应。

凯世通上半年斩获7.5亿离子注入机订单

据集微咨询统计,2022年初中国大陆共有23座12英寸晶圆厂投入生产,总计月产能约为104.2万片,与总规划月产能156.5万片相比,产能装载率仅达到66.58%,仍有较大扩产空间。

集微咨询预计,中国大陆未来5年(2022-2026年)还将新增25座12英寸晶圆厂,总规划月产能将超过160万片。由此可见,中国大陆半导体设备需求有望长期维持高位。

离子注入是晶圆制造掺杂核心工艺,技术壁垒仅次于光刻、刻蚀、薄膜沉积。目前本土晶圆厂一般会将7%~10%的设备开支用于离子注入机。

受益于晶圆厂逆周期大规模扩产,中国大陆离子注入机需求快速放量。据东吴证券中性预估,2022-2026年中国大陆新增12英寸晶圆产能扩产对离子注入设备的需求将达到520亿元。

但离子注入机是前道国产化率最低的环节之一,若以此前批量公开招标的华虹无锡和积塔半导体为统计标本,国产化率几乎为0。在本土供应商中,凯世通重点聚焦低能大束流和高能离子注入设备,合计在离子注入机市场占比约80%。

近年来,万业企业半导体装备业务规模快速扩张,2021年-2022年H1公司专用装备制造业务分别同比增长465%、151%,持续大幅提升。

2022年上半年,凯世通新增获得3家客户多台低能大束流离子注入机采购订单,累计新增集成电路设备订单超7.5亿元。一季度,凯世通获得重要客户的批量订单,包含12英寸低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机,并与另一家集成电路制造厂签订了一台低能大束流离子注入机订单。2022年二季度,凯世通获得第三家集成电路制造工厂的3台低能大束流离子注入机订单。

横向扩张设备品类,纵向布局上游零部件

万业企业携手宁波芯恩创立嘉芯半导体,横向布局多品类前道设备实现平台化扩张。

嘉芯半导体主要从事集成电路核心装备业务,产品范围覆盖刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等8/12英寸半导体设备,可自主研发和制造刻蚀、薄膜沉积、清洗设备等10类产品。

嘉芯半导体自2021年四季度正式运营后,2021年和2022年上半年分别实现收入517万元和887万元,累计新增订单超过3.4亿元,并在刻蚀设备、薄膜沉积、快速热处理领域实现产业化突破。通过在已有的集成电路离子注入机设备的基础上进行嘉芯半导体多款设备的叠加,万业企业“1+N ”设备平台化效应逐步凸显。

纵向拓展产业链方面,万业企业在2020年年底牵头境内外投资人,以镨芯电子和镨芯控股为收购主体收购Compart Systems,并间接成为Compart Systems的第一大股东,切入布局上游半导体设备零部件这个千亿大市场。

Compart Systems是设备流量控制龙头,处于产业链上游半导体设备零部件领域,主要产品用于集成电路制造工艺中刻蚀机、CVD、PVD、PE-CVD、ALD等设备所需的流量控制系统,提供气箱中高价值气体输送零部件、焊件、密封件、气棒总成、质量流量控制器(MFC)等组件及一体化技术服务。

2022年5月,大基金二期首次布局半导体零部件产业,向镨芯电子增资3.5亿元。


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